Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 08.2025 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0042-207X KITopen-ID: 1000180268 |
Erschienen in | Vacuum |
Verlag | Elsevier |
Band | 238 |
Seiten | 114213 |
Projektinformation | DFG, DFG EIN, BR 4175/8-1 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | KNMF, 2022-027-031254, 3D-DLW |
Schlagwörter | KNMF, 2022-027-031254, 3D-DLW |
Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex |