| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 08.2025 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0042-207X KITopen-ID: 1000180268 |
| Erschienen in | Vacuum |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 238 |
| Seiten | 114213 |
| Projektinformation | 505596621 (DFG, DFG EIN, BR 4175/8-1) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | KNMF, 2022-027-031254, 3D-DLW |
| Schlagwörter | KNMF, 2022-027-031254, 3D-DLW |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science OpenAlex Dimensions |