Influence of electrode transparency on the plasma properties of a cylindrical IEC plasma source
Tiedemann, Dominik
1; Emmerlich, Jens; Herdrich, Georg; Müller, Matthias; Ulrich, Sven 2
1 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Emmerlich, Jens; Herdrich, Georg; Müller, Matthias; Ulrich, Sven 21 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 12.2024 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0042-207X KITopen-ID: 1000180474 |
| Erschienen in | Vacuum |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 230 |
| Seiten | 113711 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |
Seitenaufrufe: 5
seit 28.03.2025
seit 28.03.2025