| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Produktionstechnik (WBK) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 06.2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000182708 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 12 |
| Heft | 7 |
| Seiten | 702–706 |
| Vorab online veröffentlicht am | 28.04.2006 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus OpenAlex |