| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 11.2025 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2195-1071 KITopen-ID: 1000183902 |
| Erschienen in | Advanced Optical Materials |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 13 |
| Heft | 32 |
| Vorab online veröffentlicht am | 07.08.2025 |
| Schlagwörter | 2023-031-031844 DRIE EBL |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |