| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsdatum | 23.10.2024 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000185045 |
| Veranstaltung | DRIE Workshop (2024), Frankfurt (Oder), Deutschland, 23.10.2024 |