Micromanufacturing Engineering and Technology/Chapter 8 - Deep X-ray Lithography
Meyer, Pascal
1; Schulz, Joachim
1; Beckenbach, Thomas
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Schulz, Joachim
1; Beckenbach, Thomas1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Abstract:
Deep X-ray Lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2026 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-443-15449-2 KITopen-ID: 1000187754 |
| Erschienen in | Micromanufacturing Engineering and Technology. Ed.: Y. Qin |
| Auflage | 3rd ed. |
| Verlag | Elsevier |
| Seiten | 155-184 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |