On the contrast mechanism of scanning microwave impedance microscopy on buried and doped features
Magnarin, Lorenzo Andrea 1; Ozino Caligaris, Filippo; Morán-Meza, José; Aghassi-Hagmann, Jasmin
1; Celano, Umberto
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Celano, Umberto 1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 01.05.2026 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2166-2746, 2166-2754 KITopen-ID: 1000191971 |
| HGF-Programm | 43.31.02 (POF IV, LK 01) Devices and Applications |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science & Technology B |
| Verlag | AIP Publishing |
| Band | 44 |
| Heft | 3 |
| Seiten | Art.-Nr.: 034003 |
| Vorab online veröffentlicht am | 06.04.2026 |