Effect of zirconium addition on the microstructure and mechanical properties of TiSiN films fabricated by reactive magnetron sputtering at room temperature
Boltynjuk, Evgeniy 1; Mejía V., Claudia P.; Kante, Mohana V.
1; Garzón, Carlos M.; Olaya, Jhon J.; Hahn, Horst 1; Velasco, Leonardo
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Garzón, Carlos M.; Olaya, Jhon J.; Hahn, Horst 1; Velasco, Leonardo 1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2026 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0257-8972 KITopen-ID: 1000193148 |
| Erschienen in | Surface and Coatings Technology |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 521 |
| Seiten | 10 S. |
| Vorab online veröffentlicht am | 04.12.2025 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex |