Realtime measurement of the ablation rate during ultrashort pulsed laser processing
Kogel-Hollacher, M.; Mieth, S.; Pichot, J.; Pfleging, W.
1; Kraft, R.
1 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Kraft, R.1 Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Abstract:
The increasing requirements in the industry and the continuous progress in the use of USP lasers are leading to a significant further development of sensor technology in order to qualify or even quantify the processing result. Non-destructive testing and, in particular, optical measurement technology for overall qualification at the end of the line is a necessary prerequisite.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsdatum | 04.03.2026 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-5106-9675-4 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000193837 |
| Erschienen in | Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXXI |
| Veranstaltung | SPIE Photonics West (SPIE LASE 2026), San Francisco, CA, USA, 17.01.2026 – 22.01.2026 |
| Verlag | SPIE |
| Seiten | 26 |
| Serie | 13880 |
| Externe Relationen | Siehe auch |
| Schlagwörter | Process monitoring, 3D metrology, Surface modification, USP laser processing, Battery performance enhancement, Sensors |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex |