| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 09.2026 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 1000195666 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 32 |
| Heft | 9 |
| Seiten | Art.-Nr.: 122 |
| Vorab online veröffentlicht am | 10.07.2026 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex |