3D investigation of dislocation development in semiconductor wafers by means of x-ray diffraction imaging
Kabukcuoglu, Merve
; Danilewsky, Andreas [Beteiligte*r]; Fiederle, Michael [Beteiligte*r]
; Danilewsky, Andreas [Beteiligte*r]; Fiederle, Michael [Beteiligte*r]
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000197639 |
| Verlag | Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau |
| Umfang | 143 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Freiburg, Univers., Diss., 04.02.2022 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Referent/Betreuer | Baumbach, Tilo |