| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 30.10.2026 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-4922, 1347-4065 KITopen-ID: 1000198640 |
| Erschienen in | Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers |
| Verlag | Japan Society of Applied Physics |
| Band | 65 |
| Heft | 20 |
| Seiten | Art.-Nr.: 202001 |
| Vorab online veröffentlicht am | 22.10.2026 |
| Externe Relationen | Siehe auch |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus |