LIGA and related technologies for industrial application
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110037452 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A |
| Band | 54 |
| Seiten | 785-89 |
| Erscheinungsvermerk | Transducers 95 : Eurosensors 9 ; Proc.of the 8th Internat.Conf. on Solid-State Sensors and Actuators, Stockholm, S, June 25-29, 1995,(1996) |