The use of FTIR spectroscopy in microtechnologies

Guber, A. E.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1997
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 110037455
HGF-Programm	41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Mikrochimica Acta
Band	14
Seiten	639-41
Erscheinungsvermerk	Progress in Fourier Transform Spectroscopy : Proc.of the 10th Internat.Conf., Budapest, H, August 28 - September 1, 1995, Suppl.

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