KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

The use of FTIR spectroscopy in microtechnologies

Guber, A.E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110037455
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Mikrochimica Acta
Band 14
Seiten 639-41
Erscheinungsvermerk Progress in Fourier Transform Spectroscopy : Proc.of the 10th Internat.Conf., Budapest, H, August 28 - September 1, 1995, Suppl.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page