Production and surface analytical characterization of various chalcogenide glass thin films for analytical microdevices
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110040392 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Surface and Coatings Technology |
| Band | 97 |
| Seiten | 707-12 |
| Erscheinungsvermerk | 5th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 10-13, 1996,(1997) |