| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110040744 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
| Band | 67 |
| Seiten | 2490-95 |
| Erscheinungsvermerk | (1996) |