Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110040744 |
HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
Band | 67 |
Seiten | 2490-95 |
Erscheinungsvermerk | (1996) |