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New development strategies for high aspect ratio microstructures

Zanghellini, J.; Achenbach, S.; El-Kholi, A.; Mohr, J.; Pantenburg, F. J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110041004
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 4
Seiten 94-97
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997
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