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Fabrication of LIGA mold inserts

Bacher, W.; Bade, K.; Matthis, B.; Saumer, M.; Schwarz, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110041033
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 4
Seiten 117-119
Erscheinungsvermerk High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997
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