| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110041139 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Digest of Technical Papers |
| Band | 70 |
| Erscheinungsvermerk | Transducers '97 : 1997 Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Chicago, Ill., June 16-19, 1997 S.785-88 New York, N.Y. : IEEE, 1997 Sensors and Actuators A, S.104-11 |