Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110041414 |
HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 3 |
Seiten | 129-33 |