Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110041420 |
HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 5 |
Seiten | 44-48 |
Erscheinungsvermerk | Micro Materials '97, Berlin, April 16-18, 1997 |