| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110041420 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 5 |
| Seiten | 44-48 |
| Erscheinungsvermerk | Micro Materials '97, Berlin, April 16-18, 1997 |