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Polymer materials for microsystem technologies

Ruprecht, R.; Hanemann, T.; Piotter, V.; Hausselt, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110041420
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 5
Seiten 44-48
Erscheinungsvermerk Micro Materials '97, Berlin, April 16-18, 1997
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