Various replication techniques for manufacturing three-dimensional metal microstructures

Ruprecht, R.; Benzler, T.; Hanemann, T.; Müller, K.; Konys, J.; Piotter, V.; Schanz, G.; Schmidt, L.; Thies, A.; Wöllmer, H.; Hausselt, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 110041444
HGF-Programm	41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Microsystem Technologies
Band	4
Seiten	28-31
Erscheinungsvermerk	High Aspect Ratio Microstructure Technology (HAMRST '97), Madison, Wis., June 20-21, 1997,(1997)