Preparation and properties of boron nitride films by sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110041560 |
| HGF-Programm | 34.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Materials Chemistry and Physics |
| Band | 48 |
| Seiten | 178-85 |