An electrostatically actuated polymer microvalve equipped with a movable membrane electrode
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110042147 |
| HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 7 |
| Seiten | 224-26 |