Nanostructuring by reactive accelerated cluster erosion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110042458 |
| HGF-Programm | 52.01.31 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology |
| Band | 15 |
| Seiten | 1382-84 |
| Erscheinungsvermerk | Papers from the 4th Internat.Conf.on NanometerScale Science and Technology, Beijing, China, September 8-12, 1996 |