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Subplantation effect in magnetron sputtered superhard boron carbide thin films

Ulrich, S.; Ehrhardt, H.; Schwan, J.; Samlenski, R.; Brenn, R.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110042574
HGF-Programm 52.02.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Diamond and Related Materials
Band 7
Seiten 835-838
Erscheinungsvermerk Diamond '97, Edinburgh, GB, August 3-8, 1997
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