Determination of elastic modulus of thin layers using nanoindentation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110042724 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Materials Research |
| Band | 12 |
| Seiten | 2475-84 |