Planar-assembly triaxial microaccelerometer with electromechanical sigma-delta ADCs
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110042773 |
| HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A |
| Band | 61 |
| Seiten | 436-40 |