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Planar-assembly triaxial microaccelerometer with electromechanical sigma-delta ADCs

Wuestling, S.; Fromhein, O.; Gemmeke, H.; Tschuch, M.; Wollersheim, O.


Zugehörige Institution(en) am KIT Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110042773
HGF-Programm 41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 61
Seiten 436-40
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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