Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110042935 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology B |
Band | 16 |
Seiten | 3547-51 |
Erscheinungsvermerk | Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication, Chicago, Ill., May 26-29, 1998,(1998) |