Design optimization of bistable microdiaphragm valves
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110042944 |
| HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A |
| Band | 64 |
| Seiten | 259-64 |