Nanoparticle impact micromachining
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110042947 |
| HGF-Programm | 52.01.16 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| Band | 15 |
| Seiten | 2362-64 |
| Erscheinungsvermerk | (1997) |