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Nanoparticle impact micromachining

Gruber, A.; Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 110042947
HGF-Programm 52.01.16 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology B
Band 15
Seiten 2362-64
Erscheinungsvermerk (1997)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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