| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110042965 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystems Technologies |
| Band | 4 |
| Seiten | 46-50 |
| Erscheinungsvermerk | (1997) |