Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110042965 |
HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystems Technologies |
Band | 4 |
Seiten | 46-50 |
Erscheinungsvermerk | (1997) |