Simultaneous double-sided deposition of HTS films on 3-inch wafers by ICM-sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110043118 |
| HGF-Programm | 34.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Applied Superconductivity |
| Band | 9 |
| Seiten | 1543-46 |
| Erscheinungsvermerk | Conf., Palm Desert, Calif., September 13-18, 1998 IEEE Transactions on |