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Surface- and microanalytical characterization of silicon-carbonitride thin films prepared by means of radio-frequency magnetron co-sputtering

Lutz, H.; Bruns, M.; Link, F.; Baumann, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110043146
HGF-Programm 52.01.54 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Thin Solid Films
Band 332
Seiten 230-34
Erscheinungsvermerk 25th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 98), San Diego, Calif., April 27 - May 1, 1998
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