C and N depth profiles of SiCN layers determined with nuclear reaction analyses and AES
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110043654 |
| HGF-Programm | 41.02.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B |
| Band | 139 |
| Seiten | 268-72 |