Multi-functional valve components fabricated by combination of LIGA processes and high precision mechanical engineering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110043735 |
| HGF-Programm | 42.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 4 |
| Seiten | 128-131 |