Technology for moveable microstructures - transfer of laboratory processes to industrial production
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110043744 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 4 |
| Seiten | 120-121 |