Multistator LIGA-fabricated electrostatic wobble motors with integrated synchronous control
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110043755 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
| Band | 7 |
| Seiten | 214-223 |