Phase separation in magnetron sputtered superhard BNC thin films

Ulrich, S.; Ehrhardt, H.; Theel, T.; Schwan, J.; Westermeyr, S.; Scheib, M.; Becker, P.; Oechsner, H.; Dollinger, G.; Bergmaier, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 110043840
HGF-Programm	52.02.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Diamond and Related Materials
Band	7
Seiten	839-844
Erscheinungsvermerk	Diamond '97, Edinburgh, GB, August 3-8, 1997