| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Ingenieurtechnik (HIT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110044046 |
| HGF-Programm | 31.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 16 |
| Seiten | 2524-27 |