Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Ingenieurtechnik (HIT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110044046 |
HGF-Programm | 31.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
Band | 16 |
Seiten | 2524-27 |