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LIGA - A technology for fabricating microstructures and microsystems

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110044985
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors and Materials
Band 10
Seiten 363-73
Erscheinungsvermerk (1998)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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