LIGA - A technology for fabricating microstructures and microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110044985 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Materials |
| Band | 10 |
| Seiten | 363-73 |
| Erscheinungsvermerk | (1998) |