Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110045040 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Sensors and Actuators |
Band | 72 |
Seiten | 243-50 |