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Chemically inert membrane separator fabricated with the AMANDA-process

Rummler, Z.; Bacher, W.; Saile, V.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110045211
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 6
Seiten 189-91
Erscheinungsvermerk HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999
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