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Chemically inert membrane separator fabricated with the AMANDA-process

Rummler, Z. 1; Bacher, W. 1; Saile, V. 1; Schomburg, W. K. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110045211
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 6
Seiten 189-91
Erscheinungsvermerk HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
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