Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110045211 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 6 |
Seiten | 189-91 |
Erscheinungsvermerk | HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |