Nanostructures produced by cluster beam lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110045222 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Applied Physics A |
| Band | 68 |
| Seiten | 197-201 |