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Alternative resist adhesion- and electroplating layers for LIGA process

El-Kholi, A.; Bade, K.; Mohr, J.; Pantenburg, F.J.; Tang, X.M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110045225
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 6
Seiten 161-64
Erscheinungsvermerk HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999
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