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Adhesion of Ni-structures on Al₂O₃ ceramic substrates used for the sacrificial layer technique

Kunz, Th.; Mohr, J.; Ruzzu, A.; Skrobanek, K.D.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110045243
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 6
Seiten 121-25
Erscheinungsvermerk HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999
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