Adhesion of Ni-structures on Al₂O₃ ceramic substrates used for the sacrificial layer technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110045243 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 6 |
| Seiten | 121-25 |
| Erscheinungsvermerk | HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999 |