Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110045358 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Digest of Technical Papers |
Band | 83 |
Erscheinungsvermerk | Transducers '99 : The 10th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, J, June 7-10, 1999, Vol.1 S.1808-11 Tokyo : The Institute of Electrical Engineers of Japan, 1999 Sensors and Actuators A, S.214-19 |