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Thin film shape memory microvalves with adjustable operation temperature

Kohl, M.; Dittmann, D.; Quandt, E.; Winzek, B.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110045358
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Digest of Technical Papers
Band 83
Erscheinungsvermerk Transducers '99 : The 10th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, J, June 7-10, 1999, Vol.1 S.1808-11 Tokyo : The Institute of Electrical Engineers of Japan, 1999 Sensors and Actuators A, S.214-19
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