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Application of scanning probe microscopy for the determination of the structural accuracy of high aspect ratio microstructures

Achenbach, S.; Mohr, J.; Pantenburg, F.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110045584
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Microelectronic Engineering
Band 53
Seiten 637-40
Erscheinungsvermerk Micro and Nano Engineering 99 (MNE'99), Roma, I, September 21-23, 1999
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