Application of scanning probe microscopy for the determination of the structural accuracy of high aspect ratio microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110045584 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microelectronic Engineering |
| Band | 53 |
| Seiten | 637-40 |
| Erscheinungsvermerk | Micro and Nano Engineering 99 (MNE'99), Roma, I, September 21-23, 1999 |