Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110045803 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystems Technologies |
Band | 5 |
Seiten | 144-49 |