Laser micromachining for applications in thin film technology
Pfleging, W.
; Ludwig, A.; Seemann, K.
; Preu, R.; Mäckel, H.; Glunz, S. W.
; Ludwig, A.; Seemann, K.
; Preu, R.; Mäckel, H.; Glunz, S. W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110046619 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Applied Surface Science |
| Band | 154-155 |
| Seiten | 633-39 |
| Erscheinungsvermerk | Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, June 1-4, 1999 Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 1999 CD-ROM Paper A-XII.4 |