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Laser micromachining for applications in thin film technology

Pfleging, W.; Ludwig, A.; Seemann, K.; Preu, R.; Mäckel, H.; Glunz, S.W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110046619
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erschienen in Applied Surface Science
Band 154-155
Seiten 633-39
Erscheinungsvermerk Spring Meeting of the European Materials Research Society, Strasbourg, F, June 1-4, 1999 Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 1999 CD-ROM Paper A-XII.4
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